随着电力电子的发展，供配电系统设备越来越复杂，电压暂降、电压短时中断、电压瞬变、谐波等问题日益突出，对具有精密制造特征的半导体制造业影响尤为突出。

半导体的生产工艺流程复杂精密、自动化程度高，许多关键设备对供电的稳定和质量都异常敏感。一旦发生断电或电压骤降等供电问题，都可能导致生产中断，大量半成品报废，高精密生产设备甚至可能出现损伤，直接或间接地造成经济损失。

供配电系统的稳定是保障半导体生产工厂平稳运行、提高效率与良品率的关键，也是体现现代化工厂的生产水平因素之一。

如何提高半导体制造企业的供配电系统稳定可靠性？

CET供配电系统异常信息捕捉及故障诊断分析解决方案：利用高精度采样对供配电异常信息进行捕捉，并通过IEC 61850协议的GOOSE技术实现多电压等级分布式录波，系统级地对供配电异常信息进行诊断分析，输出诊断报告，对供配电系统隐患进行预警提示。记录稳态、暂态、瞬态扰动全部信息，具有SOE记录分析、稳态数据趋势图分析、暂降容忍度曲线及暂降事件统计分析、扰动录波分析等，实现故障预警、故障分析、故障诊断、电能质量综合评估等功能。

一、敏锐捕捉，全面预警

iMeter系列供配电异常信息捕捉及故障诊断分析装置分散安装在半导体用户供配电网的进线及关键节点，结合DiagSys异常信息捕捉及故障分析软件，对20μs级的用电异常信息进行捕捉与报警。

装置以1024点/周波高采样率精确呈现供配电异常扰动发生时波形，并生成一对一诊断分析报告，提前洞悉供配电系统用电健康状态，可帮助企业预知风险，最大程度预警事故发生。

二、SEMI F47容忍度分析及报警

半导体行业的电压暂降问题已是国际公认的最严重电能质量事件，也是各大半导体制造企业最关注的一类供电质量事件。

针对半导体行业生产，SEMI F47-0706《半导体制程设备电压暂降抗扰度规范》对半导体设备能承受的电压暂降等级的通用免疫能力做出了定义，若设备满足SEMI F47电压暂降免疫标准，将避免90%以上的电压暂降影响，为生产企业避免巨额经济损失。目前，标准已广泛应用于半导体行业，几乎全球所有晶圆厂都需要按照该标准构建其稳定可靠的供配电系统。

iMeter系列装置及DiagSys分析系统支持SEMI F47容忍度分析及报警功能，可在暂降扰动发生后快速做出暂态影响评估，对超出容忍度范围的电压暂降事件进行报警，DiagSys分析系统具有供配电异常信息捕捉能力，不再是单纯集成末端数据，而是供配电异常信息，并联动FMCS系统进行相关厂务工作的联动，最大程度减少暂降损失。

三、扰动源定位功能

扰动源定位是电能质量分析的核心工作之一，iMeter系列装置结合DiagSys分析软件可对含有多个基本事件和扰动事件源的复杂扰动事件进行定位，有利于全面解释复杂扰动的完整过程和综合信息，对分析事件后果、追究事件责任以及治理电能质量污染具有重要的指导价值。

四、分布式联合录波与系统级的诊断分析

采用IEC61850通讯协议的GOOSE技术，可实现分布式联合录波分析，不受电压等级和地理位置的限制，其中一台捕捉到异常信息，多台同时触发录波，为决策提供更多参考。

五、全厂电能质量评估

CET供配电系统异常信息捕捉及故障诊断分析解决方案具有更多价值体验——CET全厂电能质量评估。

业内常用的评估方法大多针对单监测点进行稳态评估，一方面，难以从全局视角了解系统整体电能质量稳态运行状况，另外，对于电压暂降、中断等暂态问题，无法有效评估其对敏感设备运行的影响程度。

CET全厂电能质量评估方法，可评估全厂所有监测点指定周期内的的电能质量稳态及暂态运行状况。不仅能从时间、空间、指标等多个维度系统评估全厂的电能质量稳态超限情况，还能评估电压暂降、中断事件对设备运行影响的严重程度，可以定量分析整个厂区的电能质量状况，为电能质量问题排查、治理提供直接数据依据。

目前，CET的供配电系统异常信息捕捉及故障诊断分析解决方案已在长江存储、青岛芯恩、北京集电等企业得到广泛应用。